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        新材料 電子特氣系統

          工信部網(wǎng)站于2018年9月29日發(fā)布了關(guān)于《重點(diǎn)新材料首批次應用示范指導目錄(2018版)》的公告。相較于2017版高純氯氣、三氯氫硅和鍺烷三種電子特氣,本次指導目錄(2018版)達15種之多,也是本次發(fā)布數量最多的一個(gè)品類(lèi)。

          電子特氣的重要性

          有人把電子特氣比喻成電子工業(yè)的糧食,也有人把它比喻成集成電路的腦細胞,這都說(shuō)明了電子特氣對于電子工業(yè)的重要性。

          新材料電子特氣系統是什么

          電子特氣系統工程分氣源部分(特氣柜GC)、配管部分(一般用雙套管)、二次配部分(氣體分配柜VMB)、自動(dòng)切換(自動(dòng)切換氣瓶)、監督控制部分(氣體管理系統GMS)幾部分

          新材料電子特氣系統特點(diǎn)

          單臺電子特氣系統設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警,并可擴展地震監控報警;多臺設備用PLC或TGO連起來(lái),監控報警系統可以與安監系統、消防系統對接。

          深圳蓋斯帕克長(cháng)期致力于電子特氣系統工程的服務(wù),公司自有經(jīng)驗豐富的、專(zhuān)業(yè)的安裝工程服務(wù)團隊與專(zhuān)業(yè)的設計團隊,成功開(kāi)發(fā)設計有自主專(zhuān)利的特氣柜GC、氣體分配柜VMB、氣體管理系統GMS,已成功安裝于諸多高等院??蒲惺遗c半導體企業(yè),且目前運行良好。


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