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        半導體/芯片 電子特氣系統

          半導體芯片電子特氣系統是半導體芯片行業(yè)安全生產(chǎn)不可缺少的一部分,這個(gè)行業(yè)對氣體純度要求較高,選用供氣系統配置相比其它行業(yè)要更加的高端。

          什么是電子特氣

          易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過(guò)99.999%)的氣體統稱(chēng)為電子特氣。電子特氣系統工程是用于保證電子特氣的安全使用的系統。

          電子特氣系統組成

          電子特氣系統工程分氣源部分(特氣柜GC)、配管部分(一般用雙套管)、二次配部分(氣體分配柜VMB)、監督控制部分(氣體管理系統GMS)幾部分。

          電子特氣系統特點(diǎn)

          單臺電子特氣系統設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警,并可擴展地震監控報警;多臺設備用PLC或TGO連起來(lái),監控報警系統可以與安監系統、消防系統對接。完善、安全、專(zhuān)業(yè)是我們的特點(diǎn)。

          適合場(chǎng)合:半導體行業(yè)、微電子企業(yè)、光伏太陽(yáng)能、濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等。

          深圳蓋斯帕克長(cháng)期致力于電子特氣系統工程的服務(wù),公司自有經(jīng)驗豐富的、專(zhuān)業(yè)的安裝工程服務(wù)團隊與專(zhuān)業(yè)的設計團隊,成功開(kāi)發(fā)設計有自主專(zhuān)利的特氣柜GC、氣體分配柜VMB、氣體管理系統GMS,已成功安裝于諸多高等院??蒲惺遗c半導體企業(yè),且目前運行良好。


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